Setiana, M. and Ferawati, B. 2025. PENGARUH VARIASI LAJU ALIRAN BLUE GAS TERHADAP PROPERTY KIMIA LAPISAN TIPIS KARBON YANG DIDEPOSISIKAN MENGUNAKAN TEKNIK PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) UNTUK APLIKASI BIOSENSOR. Jurnal Fisika : Fisika Sains dan Aplikasinya. 10, 1 (Apr. 2025), 18-24. DOI:https://doi.org/10.35508/fisa.v10i1.20634.