Setiana, M.; Ferawati, B. PENGARUH VARIASI LAJU ALIRAN BLUE GAS TERHADAP PROPERTY KIMIA LAPISAN TIPIS KARBON YANG DIDEPOSISIKAN MENGUNAKAN TEKNIK PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) UNTUK APLIKASI BIOSENSOR. fisa 2025, 10, 18-24.