Setiana, M., & Ferawati, B. (2025). PENGARUH VARIASI LAJU ALIRAN BLUE GAS TERHADAP PROPERTY KIMIA LAPISAN TIPIS KARBON YANG DIDEPOSISIKAN MENGUNAKAN TEKNIK PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) UNTUK APLIKASI BIOSENSOR. Jurnal Fisika : Fisika Sains Dan Aplikasinya, 10(1), 18-24. https://doi.org/10.35508/fisa.v10i1.20634