SETIANA, M.; FERAWATI, B. PENGARUH VARIASI LAJU ALIRAN BLUE GAS TERHADAP PROPERTY KIMIA LAPISAN TIPIS KARBON YANG DIDEPOSISIKAN MENGUNAKAN TEKNIK PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) UNTUK APLIKASI BIOSENSOR. Jurnal Fisika : Fisika Sains dan Aplikasinya, v. 10, n. 1, p. 18-24, 27 abr. 2025.