Setiana M, Ferawati B. PENGARUH VARIASI LAJU ALIRAN BLUE GAS TERHADAP PROPERTY KIMIA LAPISAN TIPIS KARBON YANG DIDEPOSISIKAN MENGUNAKAN TEKNIK PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) UNTUK APLIKASI BIOSENSOR. fisa [Internet]. 27Apr.2025 [cited 22Feb.2025];10(1):18-4. Available from: https://ejurnal.undana.ac.id/index.php/FISA/article/view/20634